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  ·MEMS傳感器原理與結構簡析


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摘要:盡管常規地震檢波器發展已有5O年的歷史,體積變得很小,靈敏度很高,并且較好地抑制地面噪聲,但MEMS加速度傳感器仍然以其直接的數字輸出、高的矢量保真度和良好的低頻響應,逐漸成為新世紀地球物理勘探技術發展中的重要角色。文章對MEMS傳感器進行了概述,對其結構與工作原理進行了簡要分析。
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